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碳化硅化學(xué)氣相沉積爐
碳化硅化學(xué)氣相沉積爐
碳化硅化學(xué)氣相沉積爐可用于材料的表面涂層、基體改性、復(fù)合材料制備等
客戶名稱:
中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所
設(shè)備名稱:
碳化硅化學(xué)氣相沉積爐
規(guī)格型號(hào):
VCVD-0305-SiC
加工物料:
碳化硅制品

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